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技术规格展示

制造能力及精度
光刻胶涂装旋涂胶厚gps精度≤3%(适用性于立体图)
光刻胶涂布喷塑胶厚定位精度≤10%(可应用于平面磨/各个凹凸面)
光刻计算精度 2um套准高精准度:0.15um
定影准确度2um显影液平均性<5%
蚀刻尺寸散差 ±1um

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