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技术规格展示

生产工艺能力及精度
光刻胶涂布纸旋涂胶厚gps精度≤3%(实使用于水平线)
光刻胶涂布粉末喷涂胶厚高精度≤10%(可主要适用于平行面/凹凸有致面)
光刻精确度 2um套准可靠性强,精密度:0.15um
成像定位精度2um显影液透亮性<5%
蚀刻尺寸散差 ±1um

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